簡易探針臺

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋轉：可36度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置。

X-Y移動行程：2英寸*3英寸

X-Y移動精度：10微米

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體視顯微鏡

放大倍數：10X-200X

移動行程：水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

CCD:200萬橡樹/500萬像素/1200萬像素

可選附件：可根據客戶要求定制

8寸自動探針臺

顯微鏡：單目電子顯微鏡

可測片徑：3”、4”、5”、6”、8”

工作臺行程：X200mm*Y210mm

工作臺速度：X軸120mm/s，Y軸80mm/s

定位精度：±0.015mm/110mm

重復精度：±0.005mm

步進分辨率：0.002mm

承片臺z向行程：0-3mm可調

O向調節范圍：±15°

XY向自動對準精度：≤0.02°

掃描對準時間：≤20S

外形：長寬高560mm*950mm*1400mm

真空高低溫探針臺

顯微鏡行程：R軸360°+移動軸100mm

放大倍數：變焦：7:1，分辨率4μm (放大倍數216X)或者選用金相顯微鏡（20X~1000X）

真空腔觀察窗尺寸：2/4英寸

CCD像素：50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）

制冷方式：液氮/液氦/制冷壓縮機

控制方式：開循環手動/自動冷媒流量控制/閉循環自動控制

控溫范圍：77K~450K/4.2K~450K

控溫分辨率：0.001K

溫度穩定性：4.2K±0.2K 77K±0.1K 373K±0.08K 473K±0.1K